低溫等離子凈化設(shè)備又稱低溫等離子廢氣凈化器，在電催化總的設(shè)計(jì)概念下，分三個(gè)即獨(dú)立又混成的激發(fā)系統(tǒng)：微波激發(fā)區(qū)、等離子激發(fā)區(qū)、板激發(fā)區(qū)。每個(gè)激發(fā)區(qū)有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。

低溫等離子廢氣凈化器工作區(qū)組成

1：微波激發(fā)區(qū)

本工藝有3至9個(gè)微波激發(fā)單位，根據(jù)被處理風(fēng)量的不同數(shù)量不同，微波由于它的頻率相對(duì)比較高，在納秒的時(shí)間內(nèi)作用于被處理空間（區(qū)域），由于微波的功率相對(duì)較小，因此在激發(fā)能力上也就是說電子的獲能躍遷能力上有限，本設(shè)計(jì)只是把微波作為初頻激發(fā)源，在處理過程中作為一種預(yù)激發(fā)能。由于微波的預(yù)激功能，的提高等離子體區(qū)，板區(qū)的激發(fā)能力和處理效果，由于微波技術(shù)的運(yùn)用，本工藝在同類設(shè)備的比較中顯得設(shè)備精煉而效果優(yōu)良。

2：低溫等離子體激發(fā)

本工藝有40支至240支充有氣體的無管組成的低溫等離子體激發(fā)區(qū)，低溫等離子體區(qū)是工藝的核心技術(shù)，諸多機(jī)構(gòu)室稱在常壓下實(shí)現(xiàn)低溫等離子體。從大量的試驗(yàn)分析，常壓低溫等離子體要在工業(yè)中應(yīng)用存在的困難仍舊很大，本工藝借助低氣壓的無燈作為低溫等離子體的激發(fā)體，在無管區(qū)實(shí)現(xiàn)低溫等離子體區(qū)，由于低溫等離子體在能量躍遷過程中具有強(qiáng)的能量平衡性，在粒子撞擊中失能少，所以低溫等離子體作為原子激發(fā)是理想的一種能。在實(shí)踐應(yīng)用中，在于低氣壓究竟是多少帕？管內(nèi)充什么樣的氣體有經(jīng)濟(jì)價(jià)值？這沒有理論模型可言，只有通過實(shí)踐、實(shí)驗(yàn)、分析。

板區(qū)

根據(jù)被處體的流量，板間的電壓分12KV、16KV至42KV，板間加以足夠高的電壓，在引風(fēng)的作用下，區(qū)由于負(fù)壓的作用，按照法拉第暗區(qū)理論、光致電離理論、自由離理論，在常壓或接近常壓的條件下有相當(dāng)概率的粒子可能實(shí)現(xiàn)低溫等離子體。

根據(jù)三類的功能區(qū)，集中的目的是實(shí)現(xiàn)低溫等離子體，由于理論和實(shí)際使用條件上的區(qū)別，單一的方法獲得低溫等離子體，從功率上，外部條件上都存在差距。本工藝集三種技術(shù)與一體，經(jīng)山東、江蘇、浙江三地多家醫(yī)藥、化工企業(yè)的實(shí)地測(cè)試，原廢氣的去除率非常理想，根據(jù)尼普公司的測(cè)試，廢氣去除率可達(dá)84%以上。

低溫等離子廢氣凈化器在廢氣處理中的應(yīng)用隨著工業(yè)經(jīng)濟(jì)的發(fā)展，石油、制藥、油漆、印刷和涂料等行業(yè)產(chǎn)生的揮發(fā)性廢氣也日漸增多，這些廢氣不僅會(huì)在大氣中停留較長(zhǎng)的時(shí)間，還會(huì)擴(kuò)散和漂移到較遠(yuǎn)的地方，給環(huán)境帶來嚴(yán)重的污染，這些廢氣吸入人體，直接對(duì)人體的健康產(chǎn)生的危害；另外工業(yè)煙氣的無控制排放使性的大氣環(huán)境日益惡化，酸雨(主要來源于工業(yè)排放的硫氧化物和氮氧化物)的危害引起了各國的重視。由于大氣受污染而酸化，導(dǎo)致了生態(tài)環(huán)境的破壞，重大災(zāi)難頻繁發(fā)生，給人類造成了巨大損失。因此選擇一種經(jīng)濟(jì)、可行性強(qiáng)的處理方法勢(shì)在必行。